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            HORIBA質量流量控制器

            LF-F/LV-F 液體微小質量流量計/控制器

            產品分類:HORIBA質量流量控制器

            產品介紹

            概要

            搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

            特征

            • 通過采用數字回路,實現了高精度?高速響應。
            • 可以進行微升以上的微小流量控制。
            • 可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
            • 超潔凈類型

            規格

             

            名稱

            質量流量計

            型號

            LF-F20M-A

            LF-F30M-A

            LF-F40M-A

            LF-F50M-A

            LF-F60M-A

            全標度流量(g/min)

            0.02/0.05/0.1

            0.2/0.5

            1/2/5

            10/20

            50/100

            檢測控制范圍

            5?100% F.S.

            對象液體種類 *1

            可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

            液體粘度 *2

            最大值. 0.1 Pa·s (100cp)

            精度 *3

            ±1% F.S.

            直線性 *3

            ±0.5% F.S.

            重復性 *3

            ±0.5% F.S.

            響應精度

            3秒以內 (T98)

            2秒以內 (T98)

            使用環境溫度 *4

            5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

            溫度影響 Span

            ±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

            工作差壓值值 *5

            最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)

            耐壓

            10MPa (視為流量計)

            壓力損失

            最大值. 500Pa

            流量設定信號

            模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式:RS485(F-Net通信協議)

            流量輸出信號

            模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

            驅動電源

            +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

            外部泄漏規格

            5×10-12Pa·m3/s (He)

            接液部材質

            SUS316L, Ni

            標準接頭

            1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

            1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

            1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

            名稱

            質量流量控制器

            型號

            LV-F20 (PO/MO)

            LV-F30 (PO/MO)

            LV-F40 (PO/MO)

            LV-F50 (PO/MO)

            LV-F60 (PO/MO)

            全標度流量(g/min)

            0.02/0.05/0.1

            0.2/0.5

            1/2/5

            10/20

            50/100

            檢測控制范圍

            5?100% F.S.

            對象液體種類 *1

            可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

            液體粘度 *2

            最大值. 0.01 Pa·s (10cp)

            精度 *3

            ±1% F.S.

            直線性 *3

            ±0.5% F.S.

            重復性 *3

            ±0.5% F.S.

            響應精度

            3秒以內 (T98)

            2秒以內 (T98)

            使用環境溫度 *4

            5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

            溫度影響Span

            ±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

            工作差壓值 *5

            0.05?0.3MPa

            耐壓

            1MPa

            壓力損失

            流量設定信號

            模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

            流量輸出信號

            模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

            驅動電源

            +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

            外部泄漏規格

            PO 類型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型: 5×10-12Pa•m3/s (He)

            接液部材質

            PO 類型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 類型: SUS316L,Ni

            標準接頭

            1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

            1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

            1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

            *1: LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先指定所使用 的液體。)
            ?不能檢測含有固體物的液體。
            ?如果混合液中混合比會發生變化時,請預先進行咨詢協商。
            ?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時,請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
            *2: LF-F類型質量流量控制器根據流量量程,可以適用到 最大值, 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
            *3: 以SEMI E56-1296 為準。
            *4: 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內;如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內。
            *5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

             

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